ASML荷兰有限公司R·范德威尔克获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利夹具组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114761879B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080084080.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权夹具组件是由R·范德威尔克;关天男设计研发完成，并于2020-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本夹具组件在说明书摘要公布了：公开了一种夹具组件，该夹具组件包括夹具50，该夹具50可配置为通过静电粘附将支撑构件110夹紧到夹具的下基面49；和布置，该布置可配置为将气体引导到夹具的下基面49。该布置可配置为通过将气体暴露于液体来加湿气体。还公开了一种使夹具的下基面放电的方法。该方法包括以下步骤：通过将气体暴露于液体来加湿气体；以及将经加湿气体引导到夹具的下基面。
本发明授权夹具组件在权利要求书中公布了：1.一种夹具组件100，所述夹具组件包括： 夹具50，能够配置为通过静电粘附将支撑构件110夹紧到所述夹具的下基面49； 布置，能够配置为将气体引导到所述夹具的所述下基面49； 其中所述布置能够配置为通过将所述气体暴露于液体来加湿所述气体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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