北京科益虹源光电技术有限公司王吉亮获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114865444B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210511297.2，技术领域涉及：H01S3/13；该发明授权准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器是由王吉亮;冯泽斌;江锐;徐向宇;梁赛;陈佩佩设计研发完成，并于2022-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种准分子激光器剂量精度控制方法及系统。该方法至少包括如下步骤：S3：判断脉冲位置是否大于预设值n，如果小于等于则进入S4；如果大于则进入S5；S4：进行单脉冲能量稳定性控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vij,用于控制放电腔；然后进入S6；S5：进行剂量精度控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vij，用于控制放电腔；然后进入S6；S6：基于当前放电电压Vij调整放电腔的放电电压。本发明能够抑制单脉冲能量和剂量引起的波动，保证激光器工作过程中的剂量精度要求。
本发明授权准分子激光器剂量精度控制方法和系统及准分子激光器在权利要求书中公布了：1.一种准分子激光器剂量精度控制方法，其特征在于包括以下步骤： S1：对当前猝发序列进行计数； S2：对单脉冲的脉冲位置计数； S3：判断脉冲位置是否大于预设值n，如果小于等于则进入步骤S4；如果大于则进入步骤S5； S4：进行单脉冲能量稳定性控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vij,用于控制放电腔；然后进入步骤S6； S5：进行剂量精度控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vij，用于控制放电腔；然后进入步骤S6； S6：基于当前放电电压Vij调整放电腔的放电电压； S7：判断是否在同一猝发内的脉冲，如果是，则返回步骤S2；如果不是同一猝发内的脉冲则返回步骤S1； 其中，所述剂量精度控制计算，包括随着猝发信号的增加而使放电腔的放电电压增大的变量，以及在一个猝发信号中，随着脉冲位置的增加，使放电腔的放电电压增大的变量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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