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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利基于软性X射线散射测量的叠对测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981686B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180009795.0，技术领域涉及：G01T1/29；该发明授权基于软性X射线散射测量的叠对测量方法及系统是由A·V·舒杰葛洛夫;N·古特曼;A·库兹涅佐夫;A·吉里纽设计研发完成，并于2021-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于软性X射线散射测量的叠对测量方法及系统在说明书摘要公布了：本文中提出用于基于软性X射线SXR散射测量的测量数据来执行叠对及边缘放置误差的方法及系统。聚焦在小照射光斑大小之上的短波长SXR辐射使得能够测量设计规则目标及裸片中作用装置结构。在一些实施例中，用具有在从10到5,000电子伏特的范围中的能量的SXR辐射来执行SXR散射测量的测量。因此，在SXR波长下的测量准许在密切表示实际装置叠对的过程设计规则下的目标设计。在一些实施例中，从同一计量目标同时执行叠对及形状参数的SXR散射测量的测量以使得能够准确测量边缘放置误差。在另一方面中，基于设计规则目标的SXR测量，通过将所述SXR测量校准到实际装置目标的参考测量来估计非周期性装置结构的叠对。

本发明授权基于软性X射线散射测量的叠对测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包括： 软性X射线SXR照射源，其经配置以用具有在介于10与5,000电子伏特之间的范围中的能量的SXR辐射束来照射安置在衬底上的测量目标的第一例子，其中所述测量目标包含：第一结构，其安置在制作于所述衬底上方第一高度处的第一层中；及第二结构，其安置在制作于所述衬底上方第二高度处的第二层中； x射线检测器，其经配置以检测各自与响应于入射x射线辐射束而从所述测量目标散射的x射线辐射量的一或多个非零衍射级相关联的多个强度； 一或多个光束狭缝或孔隙，其经配置以选择一组照明波长，以同时照亮被测计量目标；及 计算系统，其经配置以： 基于所述一或多个非零衍射级中的每一者内的多个所检测的所述强度来估计与所述测量目标或对应裸片中作用装置结构相关联的叠对误差值； 其中对与所述对应裸片中作用装置结构相关联的所述叠对误差值的确定涉及基于所述一或多个非零衍射级中的每一者内的多个所检测的所述强度的与所述测量目标相关联的所估计所述叠对误差值与校正值的加总。

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