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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种定位检测装置及定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114993172B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210528478.6，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种定位检测装置及定位方法是由张昊;洪旭峰;马常杰;李亚男设计研发完成，并于2022-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种定位检测装置及定位方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种定位检测装置及定位方法，该装置包括两个校准板，每个校准板上设有多个标准图案，相邻两个标准图案之间的间距需满足视觉系统的相机视场在长、宽两个方向可同时拍到至少两个完整的标准图案。本发明装置设置了带有多个标准图案的校准板，通过每一次运动回位后视觉识别和计算，测出每一次回位的重复定位精度。在位置调整过程中，通过拍摄不同代号的标准图案，计算位置变化量。

本发明授权一种定位检测装置及定位方法在权利要求书中公布了：1.一种定位检测装置的定位方法，其特征在于：所述定位检测装置包括两个校准板5，每个校准板5上设有多个标准图案，相邻两个标准图案之间的间距需满足视觉系统4的相机视场在长、宽两个方向可同时拍到至少两个完整的标准图案；所述校准板5安装于固定座7上；设有下承载台2和上承载台3，所述下承载台2和上承载台3分别安装有两组视觉系统4，所述视觉系统4用于拍摄校准板5上的标准图案； 同一块校准板5上的所有标准图案均相同，且每个标准图案均带有一个唯一的编号，图像算法可识别到编号，以此获得所拍摄的标准图案在校准板中的位置；或者，同一块校准板5上的所有标准图案均不同，通过不同图案代表不同的位置，图案的种类、数量、排布均需通过测量解析得出； 当用于测量重复定位精度时，首先，下承载台在初始位置时，下承载台上安装的视觉系统对准校准板，并拍照，计算出拍摄到的完整的标准图案A在视觉系统的相机视场中的位置，得到视场中心与该标准图案A的位置差； 下承载台移到远端完成所需的工艺动作后，从远端再次回到初始位置，此时下承载台的视觉系统再次对准校准板并拍照，计算出拍摄到的完整的标准图案B在视觉系统的相机视场中的位置，得到出视场中心与该标准图案B的位置差； 根据标准图案A和标准图案B在校准板的位置，即可得出第一次拍摄的视场中心和第二次拍摄的视场中心的X、Y向的间距，此间距为下承载台在移动前后重复定位误差； 当用于监测上、下晶圆相对位置调整时的位置变化时，上承载台或下承载台的两组视觉系统分别拍摄两个校准板，每一组视觉系统均会拍到移动前后的位置变化，进而算出每组视觉系统的X、Y向位移量，最终解算出上承载台或下承载台的X、Y位移量及偏转角。

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