大日本印刷株式会社浴冈秀明获国家专利权
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龙图腾网获悉大日本印刷株式会社申请的专利光掩模坯料和光掩模获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019628.4，技术领域涉及：G03F1/40；该发明授权光掩模坯料和光掩模是由浴冈秀明;三好建也;今野冬木设计研发完成，并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模坯料和光掩模在说明书摘要公布了：本发明提供一种光掩模坯料，其具有透明基板、以及配置于上述透明基板的一个面且包含铬系材料的遮光膜，上述遮光膜的薄层电阻为103Ω□以上且107Ω□以下。
本发明授权光掩模坯料和光掩模在权利要求书中公布了：1.一种光掩模坯料，其具有透明基板、以及配置于所述透明基板的一个面且包含铬系材料的遮光膜， 所述遮光膜的薄层电阻为105Ω／□以上且107Ω／□以下， 所述遮光膜从所述透明基板侧起依次具有第2低反射层、遮光层和第1低反射层， 所述第2低反射层、所述第1低反射层和所述遮光层包含含氧的铬系材料。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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