安徽光智科技有限公司黄其荣获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115747752B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211594494.1，技术领域涉及：C23C16/02；该发明授权衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法是由黄其荣;冯曙光;于金凤;李光存设计研发完成，并于2022-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于金刚石膜制备领域，具体公开了一种衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法。衬底的预处理方法包括：清洗衬底，然后干燥；将衬底放入真空室内，通入氩气，利用等离子体对衬底进行轰击清洗；对衬底进行磁控溅射镀膜，时间为10~60min，膜厚约30~100nm；将处理后的衬底放入金刚石微粉无水水乙醇悬浊液中超声接种；超声清洗、吹干，备用；金刚石膜的制备方法为使用上述衬底的预处理方法所得预处理后的衬底沉积金刚石。该发明克服了机械研磨和普通超声接种的缺点，提高金刚石形核的速率、密度、质量，为高品质金刚石膜的生长提供了良好的前提条件。在金刚石膜沉积的过程中，采用的低碳浓度也进一步提升了金刚石膜的质量。
本发明授权衬底的预处理方法及金刚石膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底的预处理方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.清洗衬底，然后干燥； S2.将衬底放入真空室内，通入氩气，氩气流量为5~10sccm，利用等离子体对衬底进行轰击清洗； S3.对衬底进行磁控溅射镀膜，靶材采用高纯石墨靶，控制氩气流量为20~100sccm，气压为0.5~2Pa，衬底温度为50~250℃，沉积速率为1~4nmmin，时间为10~60min，膜厚30~100nm； S4.将处理后的衬底放入金刚石微粉无水水乙醇悬浊液中，金刚石微粉无水水乙醇悬浊液的固液比为2.5~10g：100ml，超声接种10~30min； S5.超声清洗、吹干，备用。
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