应用材料公司J·金获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利处理基板的方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115803845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180043471.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权处理基板的方法和装置是由J·金;T·S·周;D·卢博米尔斯基;T·特兰设计研发完成，并于2021-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理基板的方法和装置在说明书摘要公布了：本文提供了用于处理基板的方法和装置。例如，一种用于处理基板的处理腔室，包括腔室主体，腔室主体限定处理体积；射频RF功率源，射频RF功率源被配置成将RF能量传输至用于处理基板的处理空间；基板支撑件，所述基板支撑件包含电极；AC电源，AC电源被配置成将功率供应至处理腔室；RF滤波器电路，RF滤波器电路连接在电极与AC电源之间；以及控制器，控制器被配置成在RF滤波器电路处监测在操作期间由RF功率源间接感应至电极中的RF电压，且被配置成基于所监测的RF电压确定在处理体积中的处理状态。
本发明授权处理基板的方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的处理腔室，包含： 腔室主体，所述腔室主体限定处理体积； 射频RF功率源，所述射频RF功率源被配置成将RF能量传输至用于处理基板的所述处理体积； 基板支撑件，所述基板支撑件包含电极； AC电源，所述AC电源被配置成将功率供应至所述处理腔室； RF滤波器电路，所述RF滤波器电路连接在所述电极与所述AC电源之间；以及 控制器，所述控制器被配置成在所述RF滤波器电路处监测在操作期间由所述RF功率源间接感应至所述电极中的RF电压，且被配置成基于所监测的所述RF电压确定在所述处理体积中的处理状态， 其中所监测的RF电压是感应至所述电极中的所述RF电压的衰减的部分， 所述RF滤波器电路连接至所述AC电源的AC电源供应器传输线路，且包含： 电容耦合端口，所述电容耦合端口耦合至所述控制器，且被配置成将所述RF电压的测量结果提供至所述控制器；以及 电感器和电容器，所述电感器和电容器串联连接且被配置作为低通频率滤波器，并且 所监测的RF电压由于与所述AC电源供应器传输线路相关联的电阻和电感而衰减。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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