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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利非对称光栅标记的误差检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116105599B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310077659.6，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权非对称光栅标记的误差检测方法及装置是由李璟;杨光华;邱俊;折昌美设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本非对称光栅标记的误差检测方法及装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种非对称光栅标记的误差检测方法及装置，方法包括：通过空间相干光对待测非对称光栅标记进行照射，得到不同衍射级次的第一衍射光束，空间相干光采用部分光瞳光束；根据第一衍射光束，建立理想光栅标记；根据先验非对称光栅标记和理想光栅标记，得到先验非对称光栅标记中的第一误差特征；根据第一误差特征，对待测非对称光栅标记进行重建，得到多个重建非对称光栅标记；迭代对比多个重建非对称光栅标记和待测非对称光栅标记，得到目标重建非对称光栅标记，目标重建非对称光栅标记的特征值与待测非对称光栅标记的特征值的差值小于第一阈值；根据目标重建非对称光栅标记的误差，得到待测非对称光栅标记的误差。

本发明授权非对称光栅标记的误差检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种非对称光栅标记的误差检测方法，其特征在于，包括： 通过空间相干光对待测非对称光栅标记进行照射，得到不同衍射级次的第一衍射光束，所述空间相干光采用部分光瞳光束； 调整所述第一衍射光束的光斑之间的间距，得到相互分离的各衍射级次光斑；根据所述各衍射级次光斑的强度，得到所述待测非对称光栅标记的占空比和槽深；根据所述待测非对称光栅标记的占空比和槽深，建立理想光栅标记； 建立严格电磁波仿真模型；在所述严格电磁波仿真模型中测量所述理想光栅标记，得到第一测量信号；在所述严格电磁波仿真模型中测量先验非对称光栅标记，得到第二测量信号；计算所述第一测量信号和所述第二测量信号的特征向量差值，得到第一误差特征； 对所述不同衍射级次的衍射光束进行干涉，得到干涉信号，其中，所述衍射级次大于±1级；测量所述干涉信号的强度，得到第三测量信号；计算所述第一测量信号和所述第三测量信号的特征向量差值，得到所述待测非对称光栅标记中的第二误差特征；确定所述第二误差特征在所述第一误差特征中所占的误差权重；根据所述误差权重和所述第一误差特征，对所述待测非对称光栅标记进行重建，得到多个重建非对称光栅标记； 根据所述误差权重，迭代对比所述多个重建非对称光栅标记和所述待测非对称光栅标记；在所述误差权重收敛的情况下，得到目标重建非对称光栅标记，所述目标重建非对称光栅标记的特征值与所述待测非对称光栅标记的特征值的差值小于第一阈值； 根据所述目标重建非对称光栅标记的误差，得到所述待测非对称光栅标记的误差。

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