中国电子科技集团公司第二十六研究所谭品恒获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第二十六研究所申请的专利一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116358511B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310467010.5,技术领域涉及:G01C19/5691;该发明授权一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构是由谭品恒;贺海平;胡晓东;方仲祺;彭凯;周仁桥;彭芹;彭仁沿;张慧设计研发完成,并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构在说明书摘要公布了:本发明属于半球谐振陀螺技术领域,具体涉及一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构;包括:球环基座和叉指电极金属层;叉指电极金属层包裹在球环基座的外球面上;球环基座的底部开设有槽型缺口,槽型缺口表面镀有金属膜层,且槽型缺口平面与侧面的金属膜层断开;叉指电极金属层上刻蚀有正叉指电极对和反叉指电极对,正叉指电极对与反叉指电极对的结构相同,均为两个相同的叉指电极图案;叉指电极图案包括叉指部分和两个条带,每个条带均与槽型缺口连接;叉指电极图案的条带与槽型缺口连接处设置有一通孔,通孔中灌注有银浆;当外球面因为某种原因刻蚀而断开叉指电极对与槽型缺口的连接时,还可以通过通孔经内部圆柱面连接,起到防刻蚀的效果。
本发明授权一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构在权利要求书中公布了:1.一种防刻蚀的半球谐振子球面叉指电极结构,其特征在于,包括:球环基座和叉指电极金属层;叉指电极金属层包裹在球环基座的外球面上;球环基座的底部开设有10个均匀分布的槽型缺口,槽型缺口表面镀有金属膜层且槽型缺口平面与侧面的金属膜层断开,该金属膜层与球环基座的内外球面均连通;所述叉指电极金属层上刻蚀有正叉指电极对和反叉指电极对;正叉指电极对位于反叉指电极对的正对面;正叉指电极对与反叉指电极对的结构相同,均为两个相同的叉指电极图案;叉指电极图案包括叉指部分和两个条带,每个条带均与槽型缺口的平面连接;叉指电极图案的条带与槽型缺口连接处设置有一通孔,通孔中灌注有银浆。
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