北京师范大学廖斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京师范大学申请的专利一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116988011B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310968443.9,技术领域涉及:C23C14/20;该发明授权一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备及方法是由廖斌;欧阳晓平;陈琳;欧阳潇;吴杰;吴嘉锟;罗军;庞盼;吴先映设计研发完成,并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备,包括真空腔室,真空腔室上连通有磁过滤器,磁过滤器固定连接有阳极筒,阳极筒固定连接有阴极靶法兰,阴极靶法兰上固定连接有阴极靶和阴极弧源,阴极靶上设置有旋转磁场,阳极筒上设置有触发针;阳极筒上缠绕有第一线包,磁过滤器和阳极筒之间通过O型圈密封,磁过滤器外缠绕有聚焦线包、弯转线包和引出线包,聚焦线包通电产生聚焦磁场,弯转线包通电产生弯转磁场,引出线包通电产生引出磁场,引出线包位于磁过滤器靠紧真空腔室一端,磁过滤器位于真空腔室一端设置有扫描磁场,真空腔室内设置有样品工件台。本发明可增加聚合物金属化薄膜结合强度,增加服役寿命。
本发明授权一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种双脉冲技术柔性聚合物表面金属化设备,其特征在于,包括: 真空腔室113,所述真空腔室113上连通有磁过滤器106,所述磁过滤器106远离所述真空腔室113一端固定连接有阳极筒103,所述阳极筒103远离所述磁过滤器106弯管一端固定连接有阴极靶法兰102,所述阴极靶法兰102上固定连接有阴极靶和阴极弧源,所述阴极靶上设置有旋转磁场101,所述阳极筒103上设置有触发针104; 所述阳极筒103上缠绕有第一线包,所述第一线包通电产生第一脉冲磁场105,所述磁过滤器106和所述阳极筒103之间通过O型圈密封,所述磁过滤器106外缠绕有聚焦线包、弯转线包和引出线包,所述聚焦线包通电产生聚焦磁场107,所述弯转线包通电产生弯转磁场108,所述引出线包通电产生引出磁场109,所述聚焦线包位于所述磁过滤器106远离所述真空腔室113一端,所述弯转线包位于所述磁过滤器106中间,所述引出线包位于所述磁过滤器106靠紧所述真空腔室113一端,所述磁过滤器106位于所述真空腔室113一端设置有扫描磁场110,所述真空腔室113内设置有样品工件台111,所述样品工件台111上连接有第二脉冲电场112; 所述第一脉冲磁场105脉冲波形为锯齿波,上升沿宽度与下降沿宽度比为2:1;所述聚焦磁场107和脉冲磁场的方向为相反方向;所述弯转磁场108方向与所述聚焦磁场107方向一致;所述引出磁场109与所述弯转磁场108方向相反;所述扫描磁场110方向与所述引出磁场109方向垂直;所述第二脉冲电场112最高可为1MW,脉宽1-5μs。
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