光洋应用材料科技股份有限公司陈胜育获国家专利权
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龙图腾网获悉光洋应用材料科技股份有限公司申请的专利氧化铟钛锌溅镀靶材、其薄膜及其制法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117187760B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210721403.X，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权氧化铟钛锌溅镀靶材、其薄膜及其制法是由陈胜育;谢承谚;洪英展;简毓苍;黄圣涵设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化铟钛锌溅镀靶材、其薄膜及其制法在说明书摘要公布了：一种氧化铟钛锌溅镀靶材，其含有In、Ti、Zn及O的烧结体。该烧结体含有In2O3结晶相与In2TiO5结晶相；其中，基于In、Ti及Zn的原子总含量为100at.％计，In的原子含量是63at.％以上，Ti的原子含量是10at.％以上且30at.％以下，Zn的原子含量是2at.％以上。本发明也提供一种前述氧化铟钛锌溅镀靶材所溅镀而得的薄膜，及前述溅镀靶材的制法。本发明基于该烧结体中含有该In2O3结晶相与该In2TiO5结晶相，因而能在符合产业对溅镀速率与时间成本的要求上使得自前述溅镀靶材所溅镀而得的氧化铟钛锌薄膜的光折射率提升，以符合光电相关产业对薄膜在光折射率上的要求。
本发明授权氧化铟钛锌溅镀靶材、其薄膜及其制法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铟钛锌溅镀靶材，其特征在于：所述氧化铟钛锌溅镀靶材含有In、Ti、Zn及O的烧结体： 该烧结体含有In2O3结晶相与In2TiO5结晶相； 其中，基于In、Ti及Zn的原子总含量为100at.%计，In的原子含量是介于66at.%至83at.%间，Ti的原子含量是介于13at.%至26at.%间，Zn的原子含量是介于2.5at.%至7.5at.%间； 该In2O3结晶相中固溶有Ti、Zn，或Ti及Zn的组合，且以In、Ti与Zn的原子百分比计，该In2O3结晶相中Ti+ZnIn是介于5%至15%间。
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