睿励科学仪器(上海)有限公司庄源获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利薄膜检测方法、薄膜检测系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117405275B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311373872.8，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权薄膜检测方法、薄膜检测系统及存储介质是由庄源;杨峰设计研发完成，并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜检测方法、薄膜检测系统及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种薄膜检测方法、一种薄膜检测系统及一种计算机可读存储介质。所述薄膜检测方法包括以下步骤：获取待测样本的基底弹性模量、基底泊松比、基底厚度，以及所述待测样本表面至少一个预设位置镀膜前的第一曲率半径；获取所述待测样本表面的薄膜厚度，以及所述至少一个预设位置镀膜后的第二曲率半径；以及根据所述基底弹性模量、所述基底泊松比、所述基底厚度、所述薄膜厚度、所述第一曲率半径及所述第二曲率半径，确定所述至少一个预设位置的薄膜残余应力。通过定点捕捉薄膜局部形貌，本发明可以检测薄膜各位置的局部薄膜残余应力，从而提升薄膜检测的灵活性、可靠性及检测精度。
本发明授权薄膜检测方法、薄膜检测系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种薄膜检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取待测样本的基底弹性模量、基底泊松比、基底厚度，以及所述待测样本表面至少一个预设位置镀膜前沿X方向和Y方向的第一曲率半径； 获取所述待测样本表面的薄膜厚度，以及所述至少一个预设位置镀膜后沿X方向和Y方向的第二曲率半径； 计算所述待测样本表面至少一个第一位置镀膜后沿X方向的第二曲率半径的倒数与所述第一位置镀膜前沿X方向的第一曲率半径的倒数的第一差值； 根据所述基底弹性模量、所述基底泊松比、所述基底厚度、所述薄膜厚度，以及所述第一差值，确定所述第一位置沿X方向的薄膜残余应力； 计算所述第一位置镀膜后沿Y方向的第二曲率半径的倒数与所述第一位置镀膜前沿Y方向的第一曲率半径的倒数的第二差值；以及 根据所述基底弹性模量、所述基底泊松比、所述基底厚度、所述薄膜厚度，以及所述第二差值，确定所述第一位置沿Y方向的薄膜残余应力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿励科学仪器(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励