买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深存科技(无锡)有限公司申请的专利晶圆边缘污损检测方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118799285B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410889543.7，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆边缘污损检测方法、装置、设备及存储介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆边缘污损检测方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆边缘污损检测方法、装置、设备及存储介质，涉及图像处理领域，对采集图像检测生成晶圆pad图像，确定无法归类的存疑的图像；对存疑的图像进行灰度处理和侵蚀操作，获得原始边缘图像；对原始边缘图像进行连通性分析、过滤、断点进行填充和修复，获得修复pad图像；提取修复pad图像的边缘轮廓，基于边缘轮廓和轮廓形成的包围面积确定修复pad图像的边框，与晶圆pad图像进行边缘比对分析，确定污损情况。该方案采用深度学习预测和数字图像处理相结合对存疑的图像进行分析，根据边框修复结果和原始图像进行比对分析来确定污损情况，相比普通的图像识别检测模型的预测结果来说，准确率得到大幅提升。

本发明授权晶圆边缘污损检测方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘污损检测方法，其特征在于，所述方法包括： 对数据库中的采集图像进行目标检测识别，以pad目标外接矩形边框的坐标作为检测结果提取生成晶圆pad图像，并通过分类筛选确定无法归类的存疑pad图像； 对所述存疑pad图像进行灰度处理和侵蚀操作，将设置的结构元素的中心像素保留成为图像的前景像素，并提取图像边缘数据，获得原始边缘图像； 对所述原始边缘图像进行连通性分析和过滤，并根据所述原始边缘图像对过滤后边缘图像中的断点进行填充和修复，获得修复pad图像； 提取所述修复pad图像的边缘轮廓，将所述边缘轮廓所能形成的最大包围面积的包围轮廓与目标检测识别的外接矩形边框进行对比，且在所述包围轮廓与所述外接矩形边框的面积差值未超过设定阈值时，将所述包围轮廓确定为pad边框；分别以所述pad边框的四条边为中心，分别从二值化操作的图像中截取设定宽度的矩形图像作为pad边缘损坏分析图像；对截取的损坏分析图像分别执行侵蚀操作，并计算侵蚀操作后像素值波动的总体方差，当总体方差数值大于对应的波动阈值时，确定所述存疑pad被污损。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深存科技(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区弘毅路10号金乾座401、402室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。