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龙图腾网获悉江苏超芯星半导体有限公司申请的专利一种大尺寸晶圆横向运输装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119117451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411278730.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种大尺寸晶圆横向运输装置及方法是由刘欣宇;袁振洲设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸晶圆横向运输装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种大尺寸晶圆横向运输装置及方法，包括：减震柜体，所述减震柜体包括减震上盖和减震座，所述减震上盖的顶端安设着减震座；储存盒体，所述储存盒体位于减震柜体的里侧，所述储存盒体包括储存顶盖、储存底座、储存单元及限位挡柱，所述储存底座的上叠放着数个储存单元，位于最上层的所述储存单元的顶端安设着储存顶盖。通过除杂部件的使用，利用其中的降温液可将马达的热量带走，降温液之后通过管路一到达储存桶二里侧，由于储存桶二在进行转动，降温液会通过出液沟被甩出储存桶二，降温液使叶片的外周得到清洁，并使气流得到湿润，减少静电的产生，并使气流得到冷却、使气流的降温能力提升。

本发明授权一种大尺寸晶圆横向运输装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸晶圆横向运输装置，其特征在于：包括： 减震柜体，减震柜体包括减震上盖11，减震上盖11安设在减震座12的顶端； 储存盒体，储存盒体位于减震柜体1的里侧，储存盒体包括储存顶盖21，储存底座22上叠放着数个储存单元23，位于最上层的储存单元23的顶端安设着储存顶盖21，储存底座22和储存单元23的顶部都环形阵列有四个限位挡柱24； 储存单元23的正面开设有存放室235，存放室235的内底壁凹设着一个晶圆放置坑234，晶圆放置坑234的中部贯穿凹设着压紧通孔233，晶圆放置坑234的周面均匀贯穿凹设着四个挡柱通孔232，限位挡柱24与挡柱通孔232对应插接； 减震上盖11和减震座12的正面都凹设着进气接口15和出气接口16； 所述储存单元23和储存底座22顶部的中部安设着压紧柱25，所述压紧柱25伸入其上方的压紧通孔233； 所述压紧柱25的顶部和存放室235的内顶壁之间夹持着晶圆3； 所述储存单元23和储存底座22的四个角都分别安设着一个竖直连接杆26，所述竖直连接杆26的顶部安设着限位块二261，竖直连接杆26与储存单元23对应插接； 储存底座22的两边都凹设着缺口，所述缺口与导温组件19匹配对应。

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