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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种晶圆装载与检测集成装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208226B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411715364.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆装载与检测集成装置及方法是由杨松;刘福诚;刘昌胜设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆装载与检测集成装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆装载与检测集成装置及方法，方法步骤如下：S10、天车搬运晶圆盒读盒载台上。S20、晶圆盒识别确认，锁闭机构解锁；S30、检测框架机构上升开盖，获取晶圆盒与晶圆状态信息；S40、检测框架机构下降合盖，获取操作完成后的晶圆盒与晶圆状态信息；S50、锁闭机构进行盒盖锁闭动作；搬运晶圆盒；本发明，将承载以及晶圆取放结果的检测进行整合；缩短整体加工制造流程，兼顾了晶圆在存片、取片、开盖、关盖过程中对晶圆检测需求，减少浪费的时间与人力成本，在实体上减少晶圆的污染、弯折、以及存放突出造成后续更大的质量风险，整体的提升晶圆的加工工艺流程的效率与质量。

本发明授权一种晶圆装载与检测集成装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆装载与检测方法，其特征在于，包括读盒载台3、检测框架机构4和升降组件；所述读盒载台3包括锁闭机构33，所述检测框架机构4，所述检测框架机构4包括引导晶圆盒的座缘部41、承载座缘部41的风箱侧板42以及带动风箱侧板42和座缘部41运动的升降背板43；所述座缘部41包括引导晶圆盒盖的座缘框411和用于承载座缘框411的座缘底板412；所述座缘底板412下方设置有一组映射传感器46；风箱侧板42上设置有晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48；所述座缘框411内置空腔，与座缘底板412形成安装腔体，安装腔体内安装有抓盖机构44；所述抓盖机构44包括转动安装在座缘底板412的盖体锁舌446、驱动盖体锁舌446转动的锁舌驱动441、检测盖体锁舌446是否就位的锁舌感应器442；方法步骤如下： S10、天车搬运晶圆盒至读盒载台3上方，由检测框架机构4引导晶圆盒放置在读盒载台3上； S20、读盒载台3对晶圆盒进行识别确认，锁闭机构33将晶圆盒盖解锁； S30、升降组件驱动检测框架机构4携带晶圆盒盖进行上升开盖动作；与此同时晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48，获取晶圆盒与晶圆状态信息；映射传感器46可以对晶圆表面进行检测； S40、待外部设备操作完毕；升降组件驱动检测框架机构4携带晶圆盒盖下降合盖，晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48，再次获取操作完成后的晶圆盒与晶圆状态信息； S50、检测完毕后，读盒载台3上的锁闭机构33进行盒盖锁闭动作；等待天车搬运晶圆盒，以完成下一个工作周期。

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