买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆翻转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542242B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411530919.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆翻转装置是由史庆飞;许志彬;兰海燕;李士昌设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆翻转装置，其包括晶圆固定组件。晶圆固定组件包括放料组件、取料组件和连接架，放料组件包括放料位固定架、放料吸盘、电磁锁紧装置和磁弹簧，取料组件包括取料位固定架、音圈电机、晶圆承接柱支架和晶圆承接柱。电磁锁紧装置用于使放料位固定架和放料吸盘在翻转前及翻转过程中保持相对固定，磁弹簧用于在晶圆翻转动作完成后抵消磁弹簧移动端、放料吸盘及吸附至放料吸盘上的晶圆的重力之和使其处于悬浮状态。本发明通过电磁锁紧装置配合磁弹簧来应对晶圆翻转后衔接下一道工序时出现的高度差，并通过晶圆承接柱的上下升降实现晶圆翻转动作完成后的稳定精准承接。

本发明授权一种晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括： 晶圆固定组件2，其包括放料组件21、取料组件22和连接架23，所述放料组件21包括放料位固定架211、放料吸盘212、电磁锁紧装置213和磁弹簧214；所述放料吸盘212用以吸附放置其上的晶圆；所述电磁锁紧装置213包括电磁锁紧固定端2131和电磁锁紧移动端2132，所述电磁锁紧固定端2131设置于所述放料位固定架211上，所述电磁锁紧移动端2132与所述放料吸盘212相连接，所述电磁锁紧移动端2132与所述电磁锁紧固定端2131能够吸合锁紧使得所述放料吸盘212与所述放料位固定架211保持相对固定，也能够解除吸合锁紧从而解除所述放料吸盘212与所述放料位固定架211的相对固定关系；所述磁弹簧214包括磁弹簧固定端2141和磁弹簧移动端2142，所述磁弹簧固定端2141设置于所述放料位固定架211上，所述磁弹簧移动端2142与所述放料吸盘212相连接，所述磁弹簧214通过所述磁弹簧固定端2141与所述磁弹簧移动端2142之间的磁力以抵消所述磁弹簧移动端2142的重力、所述放料吸盘212的重力和所述放料吸盘212吸附的晶圆的重力进而使得在所述电磁锁紧移动端2132与所述电磁锁紧固定端2131解除吸合锁紧的情形下所述磁弹簧移动端2142、所述放料吸盘212和所述晶圆处于悬浮状态；所述取料组件22包括取料位固定架221、音圈电机222、晶圆承接柱支架223和晶圆承接柱224；所述音圈电机222设置于所述取料位固定架221上，用以驱动所述晶圆承接柱支架223上下移动；所述晶圆承接柱224设置于所述晶圆承接柱支架223上，用以承接处于悬浮状态的所述晶圆；所述放料位固定架211和所述取料位固定架221均与所述连接架23连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛吉盛精密装备(上海)有限公司，其通讯地址为：201304 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区丽正路1628号4幢1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。