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华中科技大学刘康获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119785376B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411901069.1,技术领域涉及:G06V30/422;该发明授权一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统是由刘康;王玉佳;王家兴;冯丹设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统在说明书摘要公布了:本申请属于半导体技术领域,具体公开了一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统。方法包括:将版图中的每个多边形金属采用水平方向扫描分解为矩形,视作图的结点;根据特定规则在矩形之间添加内部边和外部边;以矩形的对角顶点坐标作为结点特征,以矩形之间的最小距离代表边特征,完成版图的图表示;将版图的图表示输入至GNN模型的消息传递层进行图特征提取,对所有结点特征的每个维度进行全局最大池化和全局平均池化,获取全局图表示;并将全局图表示分类为热点和非热点。通过本申请可以提高版图热点检测的精确度以及计算效率。

本发明授权一种基于图神经网络的光刻热点检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于图神经网络的光刻热点检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一:基于多边形金属构建的版图,将每个多边形金属采用水平方向扫描分解为若干独立的矩形,并将每个矩形作为一个结点; 步骤二:当相邻矩形构成多边形金属的一个角时,则在相邻矩形之间添加内部边;当相邻矩形的投影重叠且距离小于预设阈值,则在相邻矩形之间添加外部边; 步骤三:以矩形的对角顶点坐标作为结点特征,以矩形之间的最小距离代表边特征,完成版图的图表示; 步骤四:将版图的图表示输入至GNN模型的消息传递层通过更新边特征和结点特征,进而进行图特征提取,对所有结点特征的每个维度进行全局最大池化和全局平均池化,获取全局图表示; 步骤五:将全局图表示输入至GNN模型的分类层,将全局图表示分类为热点和非热点; 步骤四中图特征提取具体包括以下步骤: 将版图的图表示输入至GNN模型的消息传递层,利用结点聚合其相邻结点的信息;其中,在第k个消息传递层之后,每个结点将包含其最远为k跳的邻居信息; 基于在第k个消息传递层中结点之间的边特征以及结点特征,结合单层感知机,获取在第k+1个消息传递层中结点之间的边特征; 基于在k个消息传递层中结点特征以及在第k+1个消息传递层中结点之间的边特征,利用注意力系数以及两层感知机的边相关结点特征更新函数,在第k+1个消息传递层中结点特征; 边特征更新为: 其中,和分别表示结点v和w的结点特征;和是单层感知机;r表示的边类型;表示结点v和结点w之间的边;当r=0时,代表为内部边;当r=1时,代表为外部边;为在第k+1个消息传递层中结点v和w之间的边特征;为级联; 结点特征更新为: 其中,是与结点v有内部边或外部边连接的邻居结点的集合;是使用两层感知机的边相关结点特征更新函数;为注意力系数,控制结点v从其邻居获得的注意力; 全局图表示为: 其中,表示最后一个消息传递层中结点的特征;GMP和GAP分别表示对所有结点特征的每个维度进行的全局最大池化和全局平均池化;V表示结点的集合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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