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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120291084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757921.0，技术领域涉及：C23F1/08；该发明授权一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置是由叶大成;张峻鸣;徐华伟;胡昆昆;朱友宏;曾道琼设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置，包括蚀刻单元和酸洗单元，在基材的上方，所述蚀刻单元还包括第一海绵辊，所述基材在被蚀刻液减薄处理后，基材上残留的蚀刻液经过所述第一海绵辊形成均匀分布的蚀刻液薄膜；所述酸洗单元喷射酸洗液清除基材上的所述蚀刻液薄膜；所述酸洗单元设有金属辊，用于挤压基材，解决基材上的蚀刻液薄膜破损的问题，且在所述金属辊的上方设有第二海绵辊，第二海绵辊用于吸收金属辊上携带的酸洗液，并进一步设置遮挡结构，将酸洗单元的喷淋头改为液刀喷嘴，以在基材与金属辊接触的第一时间对蚀刻液薄膜完全清楚，从而使得基材上各个位置的蚀刻液薄膜均得到了均匀酸洗，避免Mura现象。

本发明授权一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置在权利要求书中公布了：1.一种对金属掩膜板的基材进行减薄和酸洗的装置，沿基材的运行方向，所述装置从前往后依次包括蚀刻单元和酸洗单元，在基材的上、下两侧分别设置所述蚀刻单元和所述酸洗单元，所述蚀刻单元喷射蚀刻液对基材进行蚀刻减薄，在基材的上方，所述蚀刻单元还包括第一海绵辊，所述基材在被蚀刻液减薄处理后，基材上残留的蚀刻液经过所述第一海绵辊形成均匀分布的蚀刻液薄膜； 所述酸洗单元喷射酸洗液清除基材上的所述蚀刻液薄膜； 其特征在于，所述酸洗单元设有金属辊，用于挤压基材，在所述金属辊的上方设有第二海绵辊，所述金属辊、所述第一海绵辊和所述第二海绵辊在基材移动的过程中进行自转，所述金属辊与所述第二海绵辊的自转角速度相同，所述金属辊及所述第一海绵辊自转的线速度与基材的移动速度相同； 在基材的上方，所述蚀刻单元和所述酸洗单元之间包括分隔结构，所述装置还包括遮挡结构，所述遮挡结构包括回收槽，所述蚀刻单元向所述酸洗单元方向喷射的蚀刻液被所述分隔结构遮挡，并被所述回收槽回收； 所述酸洗单元设有上方液刀喷嘴，所述上方液刀喷嘴位于所述金属辊的后方，对金属辊的后方侧表面喷射酸洗液。

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