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龙图腾网获悉山东省科学院激光研究所申请的专利基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120587192B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511105739.3，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置及其控制方法是由任远;赵恩旭;成巍;马新强;戈海龙;徐子法;何建群设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微型电子元件表面精密清洗技术领域，特别公开了一种基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置及其控制方法。该激光精密清洗装置，包括安装在移动机构上的枪头壳体，其特征在于：所述枪头壳体前端设置有准直镜移动板，准直镜移动板上安装有准直镜，枪头壳体内部依次设置有位于准直镜后方的X轴振镜、场镜和Y轴振镜；枪头壳体的后端面上设置有Y轴振镜移动板，且其底面上设置有振镜场镜移动板，Y轴振镜安装在Y轴振镜移动板上，X轴振镜架设在振镜场镜移动板上。本发明有效提升微型电子元件表面污染物清除效率和精准性，大幅减少清洗过程中对基材的热影响和损伤风险，显著提高微型电子元件生产过程中的工艺稳定性和成品率。

本发明授权基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种基于二维振镜与智能可调光路的激光精密清洗装置，包括安装在移动机构3上的枪头壳体2，其特征在于：所述枪头壳体2前端设置有准直镜移动板11，准直镜移动板11上安装有位于激光入射口内侧的准直镜1，枪头壳体2内部依次设置有位于准直镜1后方的X轴振镜7、场镜10和Y轴振镜8；枪头壳体2的后端面上设置有Y轴振镜移动板9，且其底面上设置有振镜场镜移动板6，Y轴振镜8安装在Y轴振镜移动板9上，X轴振镜7架设在振镜场镜移动板6上，且振镜场镜移动板6上安装有位于X轴振镜7和Y轴振镜8下方的场镜10；移动机构3通过X方向移动连接杆4连接枪头壳体2，并通过Y方向移动连接杆5连接振镜场镜移动板6； 所述移动机构3包括底座303，底座303的相对两侧边上安装有步进电机A301和步进电机B302，分别连接步进电机A301和步进电机B302输出轴的两个滚珠丝杠304平行架设在底座303上，底座303上安装有两条与滚珠丝杠304平行的X轴滑动杆306，移动滑块307套装在X轴移动杆306上，移动滑块307上设置有两个Y轴滑动杆，且其中一个Y轴滑动杆上设置有齿条310，两Y轴滑动杆两端固定有两平行的移动滑台308；两个滚珠丝杠304之间啮合安装有驱动齿轮A305，驱动齿轮A305通过传动轴穿过移动滑块307连接驱动齿轮B309，驱动齿轮B309与齿条310啮合； 所述枪头壳体2前端的内侧壁上开设有上下对称的准直镜移动槽201，准直镜移动板11卡接在准直镜移动槽201内；枪头壳体2的底面上开设有振镜场镜移动夹层202，振镜场镜移动板6穿插在振镜场镜移动夹层202内；枪头壳体2的后端面上开设有Y轴振镜移动夹层203，Y轴振镜移动板9穿插在Y轴振镜移动夹层203内;所述枪头壳体2内壁上设置有石墨烯涂层散热通道和气冷喷嘴； 所述移动滑块307上连接有X方向移动连接杆4，X方向移动连接杆4分别连接准直镜移动板11、振镜场镜移动板6和Y轴振镜移动板9；移动滑台308上连接有Y方向移动连接杆5，Y方向移动连接杆5与振镜场镜移动板6相连； 所述Y轴振镜移动板9上设置有嵌套式结构，且枪头壳体2的后端面上设置有对应嵌套式机构位置的竖直长条孔，Y轴振镜8卡接固定在嵌套式结构内；所述振镜场镜移动板6上设置有对应Y轴振镜8的Y轴振镜紧固件601、场镜固定孔602和对应X轴振镜7的安装套管603。

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