武汉罗博半导体科技有限公司梅爽获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉罗博半导体科技有限公司申请的专利升降放置装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223468149U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423118975.2,技术领域涉及:B66F7/16;该实用新型升降放置装置是由梅爽;别伟;李华君;华凯;王祥铜;胡彦潮设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降放置装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种升降放置装置,本实用新型提出的升降放置装置包括:顶pin、连接板、音圈电机、直线轴承;所述顶pin和所述直线轴承设置于所述连接板上,组合成升降台;所述音圈电机驱动所述升降台上升,直到所述顶pin高于吸盘的表面;将晶圆放置在所述顶pin上,所述顶pin通过真空吸附所述晶圆,所述音圈电机驱动所述升降台和所述晶圆以预设速度下降,直至所述晶圆平稳落到所述吸盘的表面,能安全稳定将晶圆放置于吸盘上,由于速度可控,从而避免了碰撞。
本实用新型升降放置装置在权利要求书中公布了:1.一种升降放置装置,其特征在于,所述升降放置装置包括:顶pin、连接板、音圈电机、直线轴承; 所述顶pin和所述直线轴承设置于所述连接板上,组合成升降台; 所述音圈电机驱动所述升降台上升,直到所述顶pin高于吸盘的表面; 将晶圆放置在所述顶pin上,所述顶pin通过真空吸附所述晶圆,所述音圈电机驱动所述升降台和所述晶圆以预设速度下降,直至所述晶圆平稳落到所述吸盘的表面。
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