苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468440U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422962066.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构，包括工艺镀膜腔体，所述工艺镀膜腔体的顶部设有盘型磁铁装置，所述盘型磁铁装置的上部连接旋转装置，下部设有靶材装置，用于对盘型磁铁装置进行旋转，通过多个南极朝向靶材的第一圆柱磁铁以及多个北极朝向靶材的第二圆柱磁铁的排列设置，同时在溅射镀膜过程中，盘型磁铁装置旋转运动，保证了磁场的均匀性和方向一致性，形成一个相对均匀的空间磁场。
本实用新型一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的盘型磁铁机构，包括工艺镀膜腔体10，其特征在于：所述工艺镀膜腔体10的顶部设有盘型磁铁装置20，所述盘型磁铁装置20的上部连接旋转装置21，下部设有靶材装置，用于对盘型磁铁装置20进行旋转，所述盘型磁铁装置20包括两组磁铁组件，分别为第一磁铁组件30和第二磁铁组件40，所述第一磁铁组件30的南极朝向靶材装置，第二磁铁的北极朝向靶材装置，所述第一磁铁组件30由多个南极朝向靶材的第一圆柱磁铁31间隔设置形成，多个第一圆柱磁铁31排列形成以第一中心为起点，向外卷曲盘绕的蚊香形状，所述第二磁铁组件40由多个北极朝向靶材的第二圆柱磁铁41间隔设置形成，多个第二圆柱磁铁41排列形成以第二中心为起点，向外沿多个第一圆柱磁铁31排列形成蚊香形状的一侧卷曲盘绕的蚊香形状，所述第一中心与第二中心相对设置。
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