南京科兴半导体检测设备有限公司车志东获国家专利权
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龙图腾网获悉南京科兴半导体检测设备有限公司申请的专利一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471569U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422870393.3，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置是由车志东;郭超峰设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其为一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置，包括料盒，所述料盒内腔的两侧均固定连接有若干个放置板，所述料盒的内腔设置有若干个晶圆，所述晶圆的表面与放置板相接触，所述料盒前侧的两侧均设置有升降结构，所述升降结构包含有与料盒转动连接的工作架，所述工作架的顶部通过螺栓固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿至工作架的内腔并固定连接有螺纹块，所述螺纹块的底端与工作架固定连接，所述螺纹块的表面螺纹连接有螺纹杆。本实用新型通过设置的升降结构能够带动传感器进行升降运动，对位于料盒内不同高度的晶圆的位置或倾斜进行检测，能够及时发现并纠正问题，确保晶圆在加工过程中的稳定性和一致性。
本实用新型一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置在权利要求书中公布了：1.一种料盒内晶圆的位置及倾斜检测装置，包括料盒1，其特征在于：所述料盒1内腔的两侧均固定连接有若干个放置板2，所述料盒1的内腔设置有若干个晶圆3，所述晶圆3的表面与放置板2相接触，所述料盒1前侧的两侧均设置有升降结构4； 所述升降结构4包含有与料盒1转动连接的工作架41，所述工作架41的顶部通过螺栓固定连接有电机42，所述电机42的输出轴贯穿至工作架41的内腔并固定连接有螺纹块43，所述螺纹块43的底端与工作架41固定连接，所述螺纹块43的表面螺纹连接有螺纹杆44； 所述螺纹杆44的一侧贯穿至工作架41的一侧并固定连接有激光传感器5； 所述工作架41的顶部固定连接有转动杆6，所述转动杆6的顶端贯穿至料盒1的顶部并固定连接有定位板7，所述定位板7的表面开设有定位孔8，所述料盒1顶部的两侧均设置有定位结构11。
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