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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471570U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422893973.4，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置，属于半导体制造设备及微电子技术领域。它包括载物盘，用于放置待测的样片，在所述载物盘内设置有电极柱；透明电路基板，设置于载物盘上方，在所述透明电路基板上设置有正对于载物盘上的样片的导电微探针，所述导电微探针用于与导电介质接触以检测通孔的导电性能注入机构，用于向载物盘内注入导电介质，导电介质在毛细作用下进入样片的通孔内形成液柱；观察装置，设置在透明电路基板的上方，观察装置用于观察通孔内的导电介质，以及导电微探针与导电介质之间的接触情况。本实用新型将导电探针与载物盘结合，利用液体金属的导电性与毛细作用对通孔进行检测，测试效率高。

本实用新型基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置在权利要求书中公布了：1.一种基于导电介质和导电微探针的通孔检测装置，其特征在于，包括： 载物盘3，用于放置待测的样片18，并具有容纳导电介质的空间，在所述载物盘3内设置有电极柱10； 透明电路基板2，设置于载物盘3上方，在所述透明电路基板2上设置有正对于载物盘3上的样片18的导电微探针12，所述导电微探针12用于与导电介质接触以检测通孔的导电性能； 注入机构，用于向载物盘3内注入导电介质，导电介质在毛细作用下进入样片18的通孔内形成液柱； 观察装置，设置在透明电路基板2的上方，观察装置用于观察通孔内的导电介质，以及导电微探针12与导电介质之间的接触情况； 还包括内部中空且相通的空心支架9和空心管11，空心管11与透明电路基板2的一侧相接，所述导电微探针12通过透明电路基板2上的电路与电源连接，电路连接线通过空心管11进入空心支架9，从空心支架9下方的预留的孔洞引出，与外界测量仪器连接。

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