苏州晶洲装备科技有限公司刘斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州晶洲装备科技有限公司申请的专利药液回收装置及基板刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471571U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422043630.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型药液回收装置及基板刻蚀设备是由刘斌;蒋新;施利君;沈洪旗设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本药液回收装置及基板刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体刻蚀技术领域，公开了一种药液回收装置及基板刻蚀设备。该药液回收装置设置于承载基板的载架上，包括固定架、转动结构、驱动组件以及汇流槽，固定架上设置有转轴，载架与转轴转动连接；转动结构与载架转动连接，转动结构沿第一方向远离固定架能够带动载架绕转轴正向转动以抬升，转动结构沿第一方向靠近固定架能够带动载架绕转轴反向转动以下降；驱动组件与转动结构连接，驱动组件能够驱动转动结构沿第一方向移动；汇流槽设置在载架的下方，汇流槽用于容置基板上流下的药液。该药液回收装置结构简单、实用性强，能够对基板上多余的刻蚀药液进行回收利用，降低了半导体产品的生产成本。
本实用新型药液回收装置及基板刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.药液回收装置，其特征在于，设置于承载基板100的载架200上，所述药液回收装置包括： 固定架1，所述固定架1上设置有转轴11，所述载架200与所述转轴11转动连接； 转动结构2，所述转动结构2与所述载架200转动连接，所述转动结构2沿第一方向远离所述固定架1能够带动所述载架200绕所述转轴11正向转动以抬升，所述转动结构2沿所述第一方向靠近所述固定架1能够带动所述载架200绕所述转轴11反向转动以下降； 驱动组件3，所述驱动组件3与所述转动结构2连接，所述驱动组件3能够驱动所述转动结构2沿所述第一方向移动； 汇流槽4，所述汇流槽4设置在所述载架200的下方，所述汇流槽4用于容置所述基板100上流下的药液。
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