苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆键合退火装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471578U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422961312.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆键合退火装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园;许爱玲设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合退火装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆键合退火装置，包括真空腔体，所述真空腔体的内部配合安装有水平放置的石英管，所述石英管呈圆柱状且内部中空，石英管的内部放置有键合力施加机构，所述键合力施加机构对工件限位固定并施加键合力，所述石英管的外圆周面上螺旋缠绕有加热丝，所述加热丝通过电极组件与外部电源电连接；所述加热丝通电发热，从而使得石英管内部的温度均匀升高，进而对固定于键合力施加机构内的工件进行键合。通过设置变螺距的加热丝，能够对石英管的内部进行均匀加热，从而保证石英管内部的工件受热均匀，提高晶圆键合效果，提高器件的可靠性和性能。
本实用新型一种晶圆键合退火装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合退火装置，其特征在于：包括真空腔体1，所述真空腔体1的内部配合安装有水平放置的石英管8，所述石英管8呈圆柱状且内部中空，石英管8的内部放置有键合力施加机构9，所述键合力施加机构9对工件10限位固定并施加键合力，所述石英管8的外圆周面上螺旋缠绕有变螺距的加热丝12，所述加热丝12通过电极组件13与外部电源电连接； 所述加热丝12通电发热，从而使得石英管8内部的温度均匀升高，进而对固定于键合力施加机构9内的工件10进行键合。
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