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芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司魏佳旭获国家专利权

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龙图腾网获悉芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利光传感器的校准治具、检测装置和晶圆搬运系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223471579U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422965431.3,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型光传感器的校准治具、检测装置和晶圆搬运系统是由魏佳旭;苏陶炯;丁鑫成设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

光传感器的校准治具、检测装置和晶圆搬运系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种光传感器的校准治具、检测装置和晶圆搬运系统,光传感器用于向晶圆搬运系统上的反光件发射检测光线,所述校准治具包括:非反光部,设置于所述反光件上,所述非反光部上设置有空区;其中,所述空区用于露出所述反光件的反光面的中间区域,所述非反光部用于遮挡所述反光面的其余区域。本申请使得校准后的光传感器发出的检测光线能够准确地照射在反光面的中间区域时才能接收到反射光线,从而避免光传感器发射出的检测光线照射到反光板的边缘区域时所导致的误判现象,提高光传感器检测晶圆搬运系统上是否存在晶圆盒的准确性,降低报错概率。

本实用新型光传感器的校准治具、检测装置和晶圆搬运系统在权利要求书中公布了:1.一种光传感器的校准治具,所述光传感器用于向晶圆搬运系统上的反光件发射检测光线,其特征在于,所述校准治具包括: 非反光部,设置于所述反光件上,所述非反光部上设置有空区; 其中,所述空区用于露出所述反光件的反光面的中间区域,所述非反光部用于遮挡所述反光面的其余区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司,其通讯地址为:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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