合肥晶合集成电路股份有限公司李永畴获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种晶圆盒及晶圆盒的洁净度检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223471580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423036775.2,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种晶圆盒及晶圆盒的洁净度检测装置是由李永畴设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒及晶圆盒的洁净度检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆盒及晶圆盒的洁净度检测装置,包括盒体,所述盒体的一侧开设盒口;防护罩,设于所述盒体的一侧,所述盒口位于所述防护罩内,且所述防护罩的内壁与所述盒体的外壁之间形成容纳腔;移盖组件,活动设于所述防护罩上;以及盒盖,其封闭所述盒口,且与所述移盖组件相连,所述移盖组件带动所述盒盖向着背离所述盒口或靠近所述盒口的方向移动;其中,所述盒盖向着背离所述盒口的方向移动时,所述盒体内部与所述盒体外部之间通过所述容纳腔连通。通过本实用新型能够降低外部环境中微粒对晶圆盒的污染,提高检测数据的准确度。
本实用新型一种晶圆盒及晶圆盒的洁净度检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒,其特征在于,包括: 盒体,所述盒体的一侧开设盒口; 防护罩,设于所述盒体的一侧,所述盒口位于所述防护罩内,且所述防护罩的内壁与所述盒体的外壁之间形成容纳腔; 移盖组件,活动设于所述防护罩上;以及 盒盖,其封闭所述盒口,且与所述移盖组件相连,所述移盖组件带动所述盒盖向着背离所述盒口或靠近所述盒口的方向移动; 其中,所述盒盖向着背离所述盒口的方向移动时,所述盒体内部与所述盒体外部之间通过所述容纳腔连通。
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