上海微松工业自动化有限公司刘泽洋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微松工业自动化有限公司申请的专利一种晶圆校准定心装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471584U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423021016.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆校准定心装置是由刘泽洋;杨帆;邵先情设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆校准定心装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆加工设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆校准定心装置，包括基座、若干个设置于基座上端面的晶圆支撑柱以及放置于晶圆支撑柱上的晶圆本体，所述基座的上端面滑移连接有定心活动座，定心活动座设置有两个且沿基座的轴线对称设置，每个定心活动座设置有两个抵接于晶圆本体外圆周壁的定心轮，基座设置有驱动定心活动座滑移的定心驱动件。本申请具有便于对晶圆进行校准定心的效果。
本实用新型一种晶圆校准定心装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校准定心装置，其特征在于：包括基座1、若干个设置于基座1上端面的晶圆支撑柱2以及放置于晶圆支撑柱2上的晶圆本体3，所述基座1的上端面滑移连接有定心活动座4，定心活动座4设置有两个且沿基座1的轴线对称设置，每个定心活动座4设置有两个抵接于晶圆本体3外圆周壁的定心轮43，基座1设置有驱动定心活动座4滑移的定心驱动件5。
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