上海微松工业自动化有限公司刘泽洋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微松工业自动化有限公司申请的专利一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423021187.1，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置是由刘泽洋;杨帆;邵先情设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆加工设备技术领域，尤其是涉及一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置，包括基台，基台上端面设置有多个第一支撑柱和第二支撑柱，小尺寸晶圆体放置在多个第二支撑柱上，多个第一支撑柱位于小尺寸晶圆体的外侧，第一支撑柱的上端面高于小尺寸晶圆体的上端面，大尺寸晶圆体放置在多个第一支撑柱上，基台滑移连接有夹持座，夹持座设置有两个，夹持座上设置有两个抵接于大尺寸晶圆体外周壁的第一定心轮以及两个抵接于小尺寸晶圆体外周壁的第二定心轮，所述基台设置有驱动夹持座滑移的对中驱动机构。本申请具有提高晶圆的生产效率的效果。
本实用新型一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置在权利要求书中公布了：1.一种兼容双尺寸晶圆的夹持对中装置，其特征在于：包括基台1，基台1上端面设置有多个第一支撑柱11和第二支撑柱12，小尺寸晶圆体20放置在多个第二支撑柱12上，多个第一支撑柱11位于小尺寸晶圆体20的外侧，第一支撑柱11的上端面高于小尺寸晶圆体20的上端面，大尺寸晶圆体10放置在多个第一支撑柱11上，基台1滑移连接有夹持座2，夹持座2设置有两个，夹持座2上设置有两个抵接于大尺寸晶圆体10外周壁的第一定心轮24以及两个抵接于小尺寸晶圆体20外周壁的第二定心轮27，所述基台1设置有驱动夹持座2滑移的对中驱动机构3。
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