幂帆科技(上海)股份有限公司葛春华获国家专利权
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龙图腾网获悉幂帆科技(上海)股份有限公司申请的专利一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422800150.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构是由葛春华;陆宁宁;夏笔健设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，是关于一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构，其包括：搬运底座，所述搬运底座活动连接于搬运连接板上；所述搬运底座上滑动连接有升降平台；还包括升降支撑柱，所述升降支撑柱转动连接于升降平台上；所述升降支撑柱的上部活动穿过搬运底座；所述升降支撑柱的下端与旋转单元相连接，升降支撑柱的上端连接有真空吸盘单元；所述升降支撑柱的中部转动连接于搬运底座上；所述升降支撑柱的上部活动穿设有真空轴安装板，真空轴安装板上连接有真空空心轴；所述搬运底座上连接有真空轴升降单元。采用上述结构后，其有益效果是：晶圆卡盘能够左右移动、上下升降和360°旋转，能够更好地将晶圆运用于不同工序。
本实用新型一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构在权利要求书中公布了：1.一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构，其特征在于，其包括：搬运底座，所述搬运底座活动连接于搬运连接板上；所述搬运底座上滑动连接有升降平台； 还包括升降支撑柱，所述升降支撑柱转动连接于升降平台上；所述升降支撑柱的上部活动穿过搬运底座；所述升降支撑柱的下端与旋转单元相连接，升降支撑柱的上端连接有真空吸盘单元；所述升降支撑柱的中部转动连接于搬运底座上，升降支撑柱相对于搬运底座能转动； 所述升降支撑柱的上部活动穿设有真空轴安装板，真空轴安装板上连接有至少一个的真空空心轴，真空空心轴内具有通道；所述真空空心轴的一端通过真空接头与真空发生器相连接，真空空心轴的另一端依次活动穿过吸盘安装块、卡盘安装板和晶圆卡盘后连接有真空吸盘； 所述搬运底座上连接有用于带动真空轴安装板升降的真空轴升降单元。
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