买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中科钢研节能科技有限公司申请的专利晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111370355B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911221707.4，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法是由赵然;刘素娟;张岩;赵子强;刘振洲;李龙远;鲍慧强;王锡铭;陈菲菲设计研发完成，并于2019-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法，所述晶圆容纳装置包括架体、挡柱以及多个卡扣；所述架体具有多根立柱，每根所述立柱沿竖直方向设置，多根所述立柱沿所述架体的横截面的周向间隔设置，多根所述立柱限定出用于容纳晶圆的容纳腔以及用于所述晶圆进出所述容纳腔的敞口；多个所述卡扣配置为能够分别卡持在多个所述立柱上，并且相邻所述立柱上的卡扣具有相同的水平高度以向所述晶圆提供支撑，从而使所述晶圆保持在水平状态；所述挡柱配置为能够安装在所述架体上以部分地遮挡所述敞口，从而限制所述晶圆的进出。本发明的晶圆容纳装置能够保证晶圆的腐蚀效果，使得单个晶圆受腐蚀的均匀性得以提高，保证成品晶圆的品质。

本发明授权晶圆容纳装置及晶圆腐蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆容纳装置，其特征在于，所述晶圆容纳装置包括架体10、挡柱20以及多个卡扣30； 所述架体10具有多根立柱11，每根所述立柱11沿竖直方向设置，多根所述立柱11沿所述架体10的横截面的周向间隔设置，多根所述立柱11限定出用于容纳晶圆40的容纳腔以及用于所述晶圆40进出所述容纳腔的敞口； 多个所述卡扣30配置为能够分别卡持在多个所述立柱11上，并且相邻所述立柱11上的卡扣30具有相同的水平高度以向所述晶圆40提供支撑，从而使所述晶圆40保持在水平状态； 所述挡柱20配置为能够安装在所述架体10上以部分地遮挡所述敞口，从而限制所述晶圆40的进出； 所述卡扣30配置为能够卡持在所述挡柱20上以向所述晶圆40提供支撑，所述挡柱20上的卡扣30与相邻的所述立柱11上的卡扣30具有相同的水平高度； 所述架体10呈圆柱体结构，所述架体10具有圆形的底座12以及圆形的顶梁13，所述顶梁13的形状与所述底座12的形状相匹配，多个所述立柱11沿所述底座12的周向间隔地设置，每个所述立柱11的两端均分别同所述底座12以及所述顶梁13连接； 所述顶梁13开设有通孔，所述通孔与所述晶圆40相匹配以使所述晶圆40能够通过所述通孔进出所述容纳腔。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中科钢研节能科技有限公司，其通讯地址为：100081 北京市海淀区气象路9号院8号楼4层418；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。