美科陶瓷科技有限公司黄正训获国家专利权
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龙图腾网获悉美科陶瓷科技有限公司申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112864073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011221432.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘是由黄正训;刘翰均设计研发完成，并于2020-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明涉及一种具有利用冷却气体的冷却结构的静电吸盘，包括：静电吸盘板，所述静电吸盘板包括在第一区域形成的多个第一冷却气体孔、在第二区域形成的多个第二冷却气体孔；及基材，所述基材具备与所述多个第一冷却气体孔连接的第一流路图案、与所述多个第二冷却气体孔连接的第二流路图案、变更注入所述第一流路图案的冷却气体的流入口位置的流入口移动图案。
本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，包括： 静电吸盘板，所述静电吸盘板包括在第一区域形成的多个第一冷却气体孔、在第二区域形成的多个第二冷却气体孔；及 基材，所述基材具备与所述多个第一冷却气体孔连接的第一流路图案、与所述多个第二冷却气体孔连接的第二流路图案、变更注入所述第一流路图案的冷却气体的流入口位置的流入口移动图案以及用于与所述流入口移动图案和所述第二流路图案连接而注入冷却气体的多个第三冷却气体孔， 从所述多个第三冷却气体孔注入的一部分冷却气体经由所述流入口移动图案流入所述第一流路图案并流向所述多个第一冷却气体孔，另一部分冷却空气流入所述第二流路图案并流向所述多个第二冷却气体孔， 所述第一区域为所述静电吸盘板上面中的外部区域， 所述第二区域为所述静电吸盘板上面中的内部区域， 所述基材包括： 形成有所述流入口移动图案的第一金属层； 形成有所述第一流路图案的第二金属层；及 形成有所述第二流路图案形成的第三金属层。
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