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龙图腾网获悉株式会社安川电机申请的专利搬运系统、搬运方法以及搬运装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113508456B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080003588.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权搬运系统、搬运方法以及搬运装置是由小宫路修;赤江裕光;山口刚;野口忠隆设计研发完成，并于2020-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本搬运系统、搬运方法以及搬运装置在说明书摘要公布了：搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。

本发明授权搬运系统、搬运方法以及搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种搬运系统，其特征在于， 该搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运所述基板， 所述搬运室具备： 多个机器人，它们固定在所述搬运室内，对所述基板进行搬运；以及 移动式缓冲器，其对所述基板进行保持，在所述侧壁和所述机器人之间沿着所述侧壁在水平方向上移动， 所述机器人通过与所述移动式缓冲器的移动进行协作，在所述移动式缓冲器和所述处理室之间进行所述基板的交接， 所述搬运室在侧壁设置有使内压在减压气氛和大气压气氛之间变动的装载锁定室， 多个所述机器人中的最靠近所述装载锁定室的机器人在与所述装载锁定室相邻的处理室与所述装载锁定室之间进行所述基板的交接， 多个所述机器人中的除了最靠近所述装载锁定室的机器人以外的其他机器人在所述移动式缓冲器与所述多个处理室中的除了与所述装载锁定室相邻的处理室以外的其他处理室之间进行所述基板的交接， 所述其他机器人包括第二机器人，该第二机器人是在铅垂方向上具有一个自由度、在水平方向上具有三个自由度以上的四自由度以上机器人，所述第二机器人具备第一臂、第二臂和手部，所述第一臂、所述第二臂和所述手部作为水平臂，分别绕第一旋转轴线、第二旋转轴线以及第三旋转轴线独立地回转， 所述第二机器人进入所述其他处理室中的在所述侧壁处相邻的多个处理室， 所述第二机器人不被配置在所述处理室的正面， 所述移动式缓冲器移动到所述装载锁定室或与所述装载锁定室相邻的处理室的正面，最靠近所述装载锁定室或与所述装载锁定室相邻的处理室的机器人进行所述装载锁定室或与所述装载锁定室相邻的处理室与所述移动式缓冲器之间的所述基板的交接， 所述移动式缓冲器移动到所述其他处理室的正面，所述其他机器人进行所述其他处理室与所述移动式缓冲器之间的所述基板的交接， 其中，在所述移动式缓冲器位于处理室的正面以及所述机器人的手部朝向所述处理室的正面的状态下进行所述基板的交接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社安川电机，其通讯地址为：日本福冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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