三星显示有限公司金仁敎获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113549901B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110266150.7，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权等离子体处理装置是由金仁敎;高锡珍;郑石源;许明洙设计研发完成，并于2021-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：工艺腔室；电极连接部，结合于所述工艺腔室的上端部；电极板，结合于所述电极连接部；以及基座，与所述电极板隔开而支撑基板。所述电极连接部至少包括第一子电极连接部和第二子电极连接部，所述第二子电极连接部具有与所述第一子电极连接部的厚度不同的厚度并在水平方向上与所述第一子电极连接部邻近。所述电极板根据所述电极连接部的下表面的阶梯差而弯曲，从而具有至少一部分弯曲的下表面。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，包括： 工艺腔室； 电极连接部，结合于所述工艺腔室的上端部，并且至少包括第一子电极连接部和第二子电极连接部，所述第二子电极连接部具有与所述第一子电极连接部的厚度不同的厚度并在水平方向上与所述第一子电极连接部邻近； 电极板，结合于所述电极连接部，并且根据所述电极连接部的下表面的阶梯差而弯曲，从而具有至少一部分弯曲的下表面；以及 基座，与所述电极板隔开而支撑基板。
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