全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113673197B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110954968.8，技术领域涉及：G06F30/398；该发明授权用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2021-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和介质在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和计算机可读存储介质。用于获取晶圆的工艺窗口的方法包括：基于与晶圆的关键尺寸相关联的第一工艺参数，确定第一工艺参数范围，关键尺寸为晶圆中多个单元的关键尺寸；基于与关键尺寸和图像判定结果相关联的第二工艺参数，确定第二工艺参数范围，图像判定结果指示多个单元中的相应单元的实际图像质量；以及基于第一工艺参数范围和第二工艺参数范围，确定目标工艺窗口。本公开的实施例能够得到优化的工艺窗口，提升工艺窗口的可靠度。
本发明授权用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种用于获取晶圆的目标工艺窗口的方法，包括： 基于与晶圆的关键尺寸相关联的第一工艺参数，确定第一工艺参数范围，所述关键尺寸包括所述晶圆中的多个单元的关键尺寸； 基于与所述关键尺寸和图像判定结果相关联的第二工艺参数，确定第二工艺参数范围，所述图像判定结果指示所述多个单元中的相应单元的实际图像质量；以及 基于所述第一工艺参数范围和所述第二工艺参数范围，确定所述目标工艺窗口，包括：基于所述第一工艺参数范围的边界，确定所述第一工艺参数范围对应的第一工艺窗口；基于所述第二工艺参数范围的边界，确定所述第二工艺参数范围对应的第二工艺窗口；以及基于所述第一工艺窗口和所述第二工艺窗口，确定所述目标工艺窗口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人全芯智造技术有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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