EV 集团 E·索尔纳有限责任公司F.库尔茨获国家专利权
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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利用于接合衬底的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210003792.2，技术领域涉及：H01L21/18；该发明授权用于接合衬底的方法是由F.库尔茨;T.瓦根莱特纳;T.普拉赫;J.M.聚斯设计研发完成，并于2016-02-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于接合衬底的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于将第一衬底2与第二衬底2＇在所述衬底2，2＇的接触面2o，2o＇处接合的方法，其具有如下步骤、尤其是如下流程：‑用保持力FH1将所述第一衬底2保持在第一样品支架1的第一样品支架表面1o上，以及用保持力FH2将所述第二衬底2＇保持在第二样品支架1＇的第二样品支架表面1o＇上，‑将所述接触面2o，2o＇在接合发起部位20处接触并且至少将所述第二样品支架表面1o，1o＇加热到加热温度TH，‑沿着从所述接合发起部位20伸展至所述衬底2，2＇的侧边缘2s，2s＇的接合波，将所述第一衬底2与所述第二衬底2＇接合，其特征在于，在接合期间减小在所述第二样品支架表面1o＇上的所述加热温度TH。
本发明授权用于接合衬底的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将第一衬底与第二衬底接合的设备，其包括： 第一样品支架和第二样品支架，被配置成通过在其中进行超压或压力不足而使所述第一衬底和所述第二衬底或者其组合以凸面方式或凹面方式弯曲，其中在所述第一样品支架和第二样品支架中设置有真空轨道和或空腔，流体可通过所述真空轨道和或空腔流动或可被排空；以及 测量装置，所述测量装置被配置成，检测接合波，以使得能够控制所述接合波； 其中所述第一样品支架被配置成，利用第一保持力FH1来保持所述第一衬底； 其中所述第二样品支架被配置成，利用第二保持力FH2来保持所述第二衬底；以及 其中所述第一样品支架和第二样品支架进一步被配置成，在接合过程期间减小所述第一保持力FH1和所述第二保持力FH2，从而分别控制所述第一衬底和所述第二衬底从所述第一样品支架和所述第二样品支架断开以使得所述第二衬底能够适配于所述第一衬底。
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