细美事有限公司金俊镐获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334715B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111152937.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法是由金俊镐;李相勋;徐钟锡设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种冷却单元。在一个实施方式中，冷却单元包括：冷却板，其具有安置表面；销构件，其设置在冷却板处并支撑基板；减压孔，其形成在安置表面上；减压路径，其形成在冷却板内并与减压孔连接；减压构件，其用于对减压路径进行减压；和控制器，其用于控制减压构件，其中控制器控制减压构件以对基板与冷却板的安置表面之间的空间进行减压，从而调节基板与冷却板的安置表面之间的距离。
本发明授权冷却单元、使用该冷却单元的基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于冷却基板的冷却单元，包括： 冷却板，所述冷却板具有安置表面； 销构件，所述销构件设置在所述冷却板处并支撑基板； 减压孔，所述减压孔形成在所述安置表面上； 减压路径，所述减压路径形成在所述冷却板内并与所述减压孔连接； 减压构件，所述减压构件用于对所述减压路径进行减压；和 控制器，所述控制器用于控制所述减压构件， 其中所述销构件包括： 接近销，所述接近销支撑所述基板；和 弹性构件，所述弹性构件连接至所述接近销， 其中所述控制器控制所述减压构件以对所述基板与所述冷却板的所述安置表面之间的空间进行减压，从而调节所述基板与所述冷却板的所述安置表面之间的距离，使得所述冷却板在所述基板与所述冷却板的所述安置表面之间的第一距离处冷却所述基板，然后在所述基板与所述冷却板的所述安置表面之间的第二距离处冷却所述基板，所述第二距离短于所述第一距离。
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