西门子工业软件有限公司S·A·金获国家专利权
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龙图腾网获悉西门子工业软件有限公司申请的专利用于分辨率增强技术操作的任务的高效调度获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114631058B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980101589.5,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权用于分辨率增强技术操作的任务的高效调度是由S·A·金;H·T·乌设计研发完成,并于2019-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于分辨率增强技术操作的任务的高效调度在说明书摘要公布了:公开了用于调度对布局设计进行的光学邻近校正OPC操作或其他分辨率增强技术RET操作的系统和方法。布局设计被分成多个区域,例如多个图块。对所述多个图块执行OPC以生成经修改的布局设计。对多个图块执行OPC将是耗时的。为了更有效地分配OPC的处理,对用于多个图块的OPC处理时间进行估算。对用于相应图块的OPC处理时间的估算可以基于以下分析中的一者或两者:对相应图块的分析;或者对邻近相应图块的一个或多个图块的分析。基于该估算,具有较长的估算处理时间的图块是在具有较短的估算处理时间的图块之前被调度的,由此可能导致更有效的OPC处理。
本发明授权用于分辨率增强技术操作的任务的高效调度在权利要求书中公布了:1.一种用于将分辨率增强技术任务分配给多个计算机处理单元的方法,所述方法由计算机的至少一个处理器111,121执行,包括: 接收布局设计500,所述布局设计500被分为区域; 估算对多个区域执行分辨率增强技术的相应时间; 基于估算的相应时间为所述多个区域调度所述分辨率增强技术, 其中,所述多个区域包括多个图块; 其中,所述多个图块中的相应图块具有估算的相应时间; 其中,所述估算的相应时间是基于与所述相应图块相关联的估算复杂度;以及 其中,具有较高的估算复杂度的图块被调度成在具有较低的估算复杂度的图块之前进行处理;以及 基于所述调度,通过所述多个计算机处理单元对所述多个区域执行所述分辨率增强技术。
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