株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学永冈达司获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学申请的专利生产具有氧化物膜的产品的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695076B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111576467.7,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权生产具有氧化物膜的产品的方法是由永冈达司;西中浩之;吉本昌广设计研发完成,并于2021-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本生产具有氧化物膜的产品的方法在说明书摘要公布了:一种用于生产包括掺杂有第一金属的第二金属的氧化物膜6的产品2的方法包括由其中溶解有第一金属和第二金属的原料溶液23产生雾23m;和将雾供应到基材4的表面,以在基材的表面上形成氧化物膜。原料溶液的pH小于7。
本发明授权生产具有氧化物膜的产品的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于生产包括掺杂有第一金属的第二金属的氧化物膜6的产品2的方法,所述方法包括: 由其中溶解有所述第一金属和所述第二金属的原料溶液23产生雾23m;和 将所述雾供应到基材4的表面,以在所述基材的所述表面上形成所述氧化物膜,其中 所述原料溶液的pH值小于7, 所述方法进一步包括: 将所述第一金属溶解在酸性溶液中;和 将所述酸性溶液的pH调节为小于7, 其中用当所述第一金属溶解在所述酸性溶液中时产生的气体将容器保持在相对于大气压的正压下。
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