重庆开山流体机械有限公司王立新获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆开山流体机械有限公司申请的专利一种单晶炉用组合式抽真空系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115111162B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210863057.9，技术领域涉及：F04C25/02；该发明授权一种单晶炉用组合式抽真空系统是由王立新;李伟设计研发完成，并于2022-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶炉用组合式抽真空系统在说明书摘要公布了：一种单晶炉用组合式抽真空系统，包括抽真空管路、至少两组真空泵组、多个多级罗茨真空泵，所述抽真空管路上设置真空缓冲腔，多个多级罗茨真空泵的排气口并联在抽真空管路上，位于真空缓冲腔的上游，各多级罗茨真空泵的进气口分别用于与对应的单晶炉相连，所述真空泵组由罗茨泵和前级泵串联构成，且罗茨泵设置在前级泵的上游，至少两组真空泵组的进气口并联在抽真空管路上，位于真空缓冲腔的下游，各真空泵组和抽真空管路之间分别设有第一切断阀。本发明运行成本低、可靠性高，可有效避免单晶炉内物料报废。
本发明授权一种单晶炉用组合式抽真空系统在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉用组合式抽真空系统，其特征在于：包括抽真空管路1、至少两组真空泵组2、多个多级罗茨真空泵3， 所述抽真空管路1上设置真空缓冲腔6， 多级罗茨真空泵3的进气口设置第一过滤罐8，多个多级罗茨真空泵3的排气口并联在抽真空管路1上，位于真空缓冲腔6的上游，各多级罗茨真空泵3的进气口分别用于与对应的单晶炉相连， 所述真空泵组2由罗茨泵4和前级泵5串联构成，且罗茨泵4设置在前级泵5的上游， 至少两组真空泵组2的进气口并联在抽真空管路1上，位于真空缓冲腔6的下游，各真空泵组2和抽真空管路1之间分别设有第一切断阀a， 还包括旁管7，所述旁管7的上游端与对应的单晶炉相连，旁管的下游端与抽真空管路1相连，位于真空缓冲腔6的上游，旁管上设置第三切断阀c。
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