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龙图腾网获悉费斯托(中国)自动化制造有限公司;费斯托股份两合公司申请的专利真空质量流量控制装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274508B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210962105.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权真空质量流量控制装置及其控制方法是由左赫;刘双双;王春鸽;邹权;请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空质量流量控制装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空质量流量控制装置及其控制方法，该装置包括：壳体；设置在壳体内的第一流道，具有第一起始端和第一终止端；第一传感器，用于采集第一流道中流体的信号；设置在壳体内的第二流道，具有第二起始端和第二终止端；第二传感器，用于采集第二流道中的真空流量；文丘里管，具有入口端、出口端和负压吸入口；从第一终止端流出的正压流体通过入口端流经文丘里管时，将与第二终止端处的负压流体通过负压吸入口吸入文丘里管中后通过出口端向外流出；调控阀，用于调节第一流道的流通截面；控制器，与调控阀和第一传感器、第二传感器电性连接。本申请在结构上提高了集成度，大大缩小了体积，在控制上实现了实时精准调控。

本发明授权真空质量流量控制装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种真空质量流量控制装置，其特征在于，包括： 壳体10； 设置在所述壳体10内的第一流道200，具有第一起始端21和第一终止端24，所述第一起始端21用于连接正压气源； 第一传感器94，用于采集所述第一流道200中流体的信号； 设置在所述壳体10内的第二流道300，具有第二起始端31和第二终止端，所述第二起始端31用于连接外围设备； 第二传感器50，用于采集所述第二流道300中的真空流量； 文丘里管100，具有入口端110、出口端120和负压吸入口130；从所述第一终止端24流出的正压流体通过所述入口端110流经所述文丘里管100时，将与所述第二终止端处的负压流体通过所述负压吸入口130吸入所述文丘里管100中后通过所述出口端120向外流出； 调控阀80，用于调节所述第一流道200的流通截面； 控制器90，与所述调控阀80和第一传感器94、第二传感器50电性连接，以根据所述第一传感器94、第二传感器50的反馈值，对所述调控阀80进行开度调节，从而实现对所述第二流道中的真空流量的实时控制； 所述第一流道200、第一传感器94、第二流道300、第二传感器50、文丘里管100、调控阀80和控制器90均集成设置在所述壳体10中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人费斯托(中国)自动化制造有限公司;费斯托股份两合公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区龙沪路143号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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