住友重机械工业株式会社田中哲平获国家专利权
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龙图腾网获悉住友重机械工业株式会社申请的专利进程监视器及进程监视方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115298802B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180022297.X，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权进程监视器及进程监视方法是由田中哲平设计研发完成，并于2021-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本进程监视器及进程监视方法在说明书摘要公布了：光检测仪分别检测来自退火中的半导体部件的辐射光的、彼此不同的多个波长区域的强度。处理装置根据由光检测仪检测到的多个波长区域的强度来求出因退火而改变的有关半导体部件的物理量。由此，能够在不损伤半导体部件的情况下测量因退火而改变的有关半导体部件的物理量。
本发明授权进程监视器及进程监视方法在权利要求书中公布了：1.一种进程监视器，其特征在于，具有： 光检测仪，分别检测出来自退火中的半导体部件的辐射光的、彼此不同的多个波长区域的强度；及 处理装置，根据由所述光检测仪检测到的多个波长区域的强度来求出因退火而改变的有关所述半导体部件的物理量； 所述光检测仪包括分别检测多个波长区域的辐射光的强度的多个受光部， 所述多个受光部中一个受光部检测从比深度D1更浅的区域放射出的辐射光，另一个受光部检测从比深度D2更浅的区域放射出的辐射光，其中D2＜D1。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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