宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机晶圆定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120237078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510494589.3,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权一种涂胶显影机晶圆定位装置是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机晶圆定位装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种涂胶显影机晶圆定位装置,涉及晶圆加工技术领域,包括:底连座;所述底连座与涂胶显影机固定连接,底连座顶部连接有可调式支撑架;所述底连座顶部连接有螺母,螺母与可调式支撑架接触;所述可调式支撑架顶部安装有活动托板,可调式支撑架内部安装有三个活动块;所述活动块顶部连接有定位夹块,定位夹块位于可调式支撑架顶部。当晶圆放置在活动托板顶部上时,活动托板略微下落,弹簧A受力轻微收缩,起到对晶圆缓冲防护效果,避免晶圆在放置过程中受到磕碰引起受损。解决了现有的涂胶显影机所使用的晶圆定位装置在实际应用中,对晶圆的防护效果欠佳,特别是在晶圆放置过程中,由于防护措施不足,极易发生晶圆磕碰受损的问题。
本发明授权一种涂胶显影机晶圆定位装置在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机晶圆定位装置,包括:底连座1、可调式支撑架2、螺母3、活动托板4、活动块6、定位夹块7、电机9、横螺杆10和竖轴11;其特征在于,所述底连座1与涂胶显影机固定连接,底连座1顶部连接有可调式支撑架2;所述底连座1顶部连接有螺母3,螺母3与可调式支撑架2接触;所述可调式支撑架2顶部安装有活动托板4,可调式支撑架2内部安装有三个活动块6;所述活动块6顶部连接有定位夹块7,定位夹块7位于可调式支撑架2顶部;所述可调式支撑架2外部安装有电机9,可调式支撑架2内部安装有三个横螺杆10,电机9的驱动轴与其中一个横螺杆10相连;所述可调式支撑架2内部中心部位安装有竖轴11,竖轴11与三个横螺杆10相连;所述可调式支撑架2顶部设置有竖导孔202,活动托板4底部设置有竖导柱401,竖导柱401滑动贯穿于可调式支撑架2所设有的竖导孔202内;所述活动托板4所设有的竖导柱401外部套装有弹簧A5,弹簧A5底部与可调式支撑架2接触,弹簧A5顶部与活动托板4接触。
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