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东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司任振获国家专利权

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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利用于电子束探测器的测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223485466U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423184091.7,技术领域涉及:G01M11/02;该实用新型用于电子束探测器的测试装置是由任振设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

用于电子束探测器的测试装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种用于电子束探测器的测试装置,包括:支撑座、激光器、光学模组和至少一个位置调节部,激光器设置于支撑座并具有发射端,激光器用于通过发射端发射激光;光学模组设置于支撑座并位于激光器的发射端一侧;固定模块设置于支撑座并位于光学模组背离激光器一侧,固定模块用固定探测器;每个位置调节部包括滑座和滑块,滑座连接于支撑座,滑块相对滑座可移动设置且连接激光器、光学模组和固定模块中的一者,以使激光器、光学模组和固定模块中的至少一者相对支撑座可移动。位置调节部的结构简单,有利于简化测试流程,便于准确的对探测器进行性能的测试。

本实用新型用于电子束探测器的测试装置在权利要求书中公布了:1.一种用于电子束探测器的测试装置,其特征在于,包括: 支撑座; 激光器,设置于所述支撑座并具有发射端,所述激光器用于通过所述发射端发射激光; 光学模组,设置于所述支撑座并位于所述激光器的所述发射端一侧; 固定模块,设置于所述支撑座并位于所述光学模组背离所述激光器一侧,所述固定模块用固定探测器; 至少一个位置调节部,每个所述位置调节部包括滑座和滑块,所述滑座连接于所述支撑座,所述滑块相对所述滑座可移动设置且连接所述激光器、所述光学模组和所述固定模块中的一者,以使所述激光器、所述光学模组和所述固定模块中的至少一者相对所述支撑座可移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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