华海清科(北京)科技有限公司张国伟获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利晶圆抓取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223487036U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423004681.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆抓取装置是由张国伟;徐俊成;张美美;王鹏设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆抓取装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆抓取装置，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块；活动握柄的第一端与基板连接，活动握柄的第二端与活动板的第一端连接，活动板的第二端与夹紧轮连接；复位模块分别与活动板和基板连接；限位模块与基板连接，不同的限位模块对应不同尺寸的晶圆；活动握柄，用于在外力作用下带动活动板和夹紧轮沿朝向远离限位模块的方向运动，以使晶圆能够出入与该晶圆的尺寸对应的限位模块限定的放置空间；复位模块，用于驱动活动板和夹紧轮沿朝向靠近限位模块的方向运动。本申请能够对多种尺寸的晶圆进行抓取，并且操作方便。
本实用新型晶圆抓取装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抓取装置，其特征在于，包括：活动握柄、活动板、复位模块、基板、夹紧轮和多个限位模块； 所述活动握柄的第一端与所述基板连接，所述活动握柄的第二端与所述活动板的第一端连接，所述活动板的第二端与所述夹紧轮连接； 所述复位模块分别与所述活动板和所述基板连接； 所述限位模块与所述基板连接，不同的所述限位模块对应不同尺寸的晶圆； 所述活动握柄，用于在外力作用下带动所述活动板和所述夹紧轮沿朝向远离所述限位模块的方向运动，以使晶圆能够出入与该晶圆的尺寸对应的所述限位模块限定的放置空间； 所述复位模块，用于驱动所述活动板和所述夹紧轮沿朝向靠近所述限位模块的方向运动，以在所述放置空间放置有晶圆时，使所述晶圆被所述夹紧轮和对应的所述限位模块夹持。
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