厦门韫茂科技有限公司明自强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种多功能的等离子体预处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223488458U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422726322.6，技术领域涉及：H05H1/46；该实用新型一种多功能的等离子体预处理装置是由明自强;戴磊;刘绍翔设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多功能的等离子体预处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种多功能的等离子体预处理装置，涉及真空镀膜技术领域。包括：至少一组工艺腔室，所述工艺腔室上设置有抽气系统；至少一组等离子体发生系统，所述等离子体发生装置采用电感耦合等离子体、电容耦合等离子体、远程等离子体源中的至少其中一种方式以向所述工艺腔室内输送等离子体；至少一组工艺气体输送系统，所述工艺气体输送系统连接至等离子体发生系统以向所述等离子体发生系统输送工艺气体；所述工艺腔室内设置有物料托盘，所述托盘上放置有单层样品架或者多层样品架。通过本方案可以实现等离子体表面清洗，表面活化，表面缺陷、空位修复等表面处理工艺。
本实用新型一种多功能的等离子体预处理装置在权利要求书中公布了：1.一种多功能的等离子体预处理装置，其特征在于，包括： 至少一组工艺腔室，所述工艺腔室上设置有抽气系统； 至少一组等离子体发生系统，所述等离子体发生装置采用电感耦合等离子体、电容耦合等离子体、远程等离子体源中的至少其中一种方式以向所述工艺腔室内输送等离子体；且所述等离子体发生系统的进源口设置于所述样品架的正上方； 至少一组工艺气体输送系统，所述工艺气体输送系统连接至等离子体发生系统以向所述等离子体发生系统输送工艺气体； 所述工艺腔室内设置有物料托盘，所述托盘上放置有单层样品架或者多层样品架。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门韫茂科技有限公司，其通讯地址为：361000 福建省厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励