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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技有限公司申请的专利检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110849899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810954898.4，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权检测系统及方法是由陈鲁;黄有为;崔高增;王天民设计研发完成，并于2018-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种检测系统及方法。检测系统包括：检测组件，其被配置为基于检测光束来生成检测光斑，检测光斑包括探测区域，探测区域为线形；信号收集组件，其被配置为收集检测光斑经被测物散射后形成的信号光，进而生成与检测光斑相对应的检测信息；以及处理器组件，其被配置为基于探测区域获取的检测信息来确定被测物上的缺陷特征信息。通过采用本发明的技术方案，节约了晶圆的移动时间，能明显增加检测速度和精度。

本发明授权检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种检测系统，其特征在于，包括： 检测组件，其被配置为基于检测光束来生成检测光斑，所述检测光斑为线形，所述检测光斑包括探测区域，所述探测区域为线形； 信号收集组件，其被配置为收集所述检测光斑经被测物散射后形成的信号光，进而生成与所述检测光斑相对应的检测信息；以及 处理器组件，其被配置为基于所述探测区域获取的检测信息来确定所述被测物上的缺陷特征信息； 其中，所述信号收集组件包括对应于不同角度的多个信号光收集通道的探测支路，每个所述探测支路包括信号光收集器和线探测器，所述信号光收集器用于将所收集到的信号光成像式地投射到所述线探测器，所述信号光收集通道包括法向收集通道和多个非法向收集通道； 对于所述被测物上分布的凹坑类缺陷，当所述检测光斑正入射时，所述检测光斑经被测物散射后形成的信号光主要分布在所述法向收集通道，所述非法向收集通道所收集到的所述检测光斑经被测物散射后形成的信号光相对较弱；对于所述被测物上分布的凸起类缺陷，当所述检测光斑斜入射时，所述检测光斑经被测物散射后形成的信号光主要分布在所述非法向收集通道，所述法向收集通道所收集到的所述检测光斑经所述被测物散射后形成的信号光相对较弱，能够基于相应的信号分布，进行缺陷类型分析。

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