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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利检测系统和检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112635343B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011312617.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权检测系统和检测方法是由陈鲁;李海卫;张鹏斌;董坤玲;金建高;范铎设计研发完成，并于2020-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本检测系统和检测方法在说明书摘要公布了：本申请的检测系统包括承载装置和探测装置。承载装置用于承载待检测件，承载装置设有贯穿孔，待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面；探测装置包括第一检测单元和第二检测单元，第一检测单元和第二检测单元设置在承载装置的相背两侧，第一检测单元与第一待检面相对，第二检测单元与第二待检面相对，第二检测单元用于对第二待检面中与贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理，第一检测单元用于对第一待检面中的第二待检区域进行检测处理，第一待检区域与第二待检区域位置对应。检测系统和检测方法能够同时对第一待检面和第二待检面进行检测，检测效率较高。

本发明授权检测系统和检测方法在权利要求书中公布了：1.一种检测系统，其特征在于，包括： 承载装置，所述承载装置用于承载待检测件，所述待检测件包括相背的第一待检面和第二待检面，所述承载装置包括承载件，所述承载件包括用于承载所述待检测件的承载面及设置在所述承载件的气路，所述承载面包括第一区域及环绕所述第一区域的第二区域，所述气路用于抽气以将所述待检测件吸附在所述第一区域，所述承载件与所述第一区域对应的部分设有多个贯穿孔；及 探测装置，所述探测装置包括第一检测单元和第二检测单元，所述第一检测单元和所述第二检测单元设置在所述承载装置的相背两侧，所述第一检测单元与所述第一待检面相对，所述第二检测单元与所述第二待检面相对，所述第二检测单元用于对所述第二待检面中与所述贯穿孔对应的第一待检区域进行检测处理，所述第一检测单元用于对所述第一待检面中的第二待检区域进行检测处理，所述第一待检区域与所述第二待检区域位置对应，其中，所述第一检测单元的光轴与所述承载面垂直，所述第二检测单元的光轴与所述承载面垂直，且所述第一检测单元的光轴与所述第二检测单元的光轴重叠。

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