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龙图腾网获悉江苏永鼎光电子技术有限公司申请的专利一种浸入式光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981105B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211610866.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种浸入式光刻设备是由蒋延标;李文强;马泽斌;李靖亮设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种浸入式光刻设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种浸入式光刻设备，具体涉及光刻设备技术领域，包括置物外框，所述置物外框的底部设有定位机构，所述定位机构的底端固定安装有支撑底座，所述定位机构的一侧设有电机，所述置物外框、定位机构的中部设有排液组件，所述置物外框的一侧设有干燥组件，本发明，通过设置置物外框、定位机构，配合使用排液组件，对硅片进行夹持定位，从而提升后续硅片浸入式光刻的稳定性，且可对置物外框中的液体介质进行热传导冷却，防止光刻时，液体介质升温出现气泡，影响硅片浸入式光刻的质量，以及硅片光刻完毕后，解除定位的同时，并置物外框中的排空液体介质，从而便于后续光刻后硅片的干燥以及卸料。

本发明授权一种浸入式光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种浸入式光刻设备，包括置物外框1，其特征在于：所述置物外框1的底部设有定位机构2，所述定位机构2的底端固定安装有支撑底座3，所述定位机构2的一侧设有电机4，所述置物外框1、定位机构2的中部设有排液组件5，所述置物外框1的一侧设有干燥组件6； 所述定位机构2包括转动外框21，所述转动外框21的外侧顶部一体成型有环形阵列分布的多个卡滑框22，所述卡滑框22固定安装在置物外框1的底端，所述卡滑框22固定安装在支撑底座3的顶端，所述卡滑框22中均滑动卡设有卡滑块23，所述转动外框21中转动卡设有和卡滑块23配合使用的驱动环24，所述驱动环24的上表面一体成型有平面螺纹凸起，多个所述卡滑块23的下表面开设有和平面螺纹凸起配合使用的平面螺纹凹槽，且平面螺纹凸起活动卡接在平面螺纹凹槽中； 所述置物外框1的底端中部开设有和排液组件5对应的排液穿槽101，所述排液组件5包括排液外环51和排液卡柱52，所述排液外环51固定卡接在排液穿槽101中，所述排液卡柱52活动卡接在排液外环51的中部，所述排液卡柱52的外侧一体成型有限位凸条521，所述排液外环51的内侧开设有和限位凸条521配合使用的限位纵槽511，所述限位凸条521滑动卡接在对应的限位纵槽511中，所述排液外环51的外侧开设有均匀分布的多个排液槽512，所述排液卡柱52的顶端固定安装有封板53，所述封板53的外径尺寸大于排液外环51的外径尺寸，所述封板53的下表面设有密封垫54，所述密封垫54和置物外框1的内下壁接触； 所述排液组件5还包括排液外管55，所述置物外框1的底端中部开设有排液外管55对应的密封卡槽102，所述排液外管55的顶部滑动卡接在密封卡槽102中，所述排液外管55的外侧一体成型有外架551，所述外架551固定安装在驱动环24的内侧，所述排液外管55的内侧一体成型有内架56，所述内架56的中部一体成型有内螺筒57，所述排液卡柱52的底端同轴固定安装有和内螺筒57配合使用的螺杆58，所述螺杆58螺纹安装在内螺筒57中。

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