北京航空航天大学;廊坊智驰动力科技有限公司徐天彤获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学;廊坊智驰动力科技有限公司申请的专利一种应用于微型爬行机器人的仿生表面及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116653188B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310295820.7,技术领域涉及:B29C41/12;该发明授权一种应用于微型爬行机器人的仿生表面及其制备方法是由徐天彤;李海旺;陶智;李世迦;赵唯至;柴家琦;张锴文;杜智源;黄晓荷;王嘉宁;陈雨诺;朱凯云;张潇;黄安祺设计研发完成,并于2023-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于微型爬行机器人的仿生表面及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种应用于微型爬行机器人的仿生表面及其制备方法,属于仿生学技术领域,采用MEMS光刻技术制备硅基模板,使用聚二甲基硅氧烷通过二次复制结构得到应用于微型爬行机器人的仿生表面。本发明基于树蛙脚掌结构,制备了一种各向异性的高摩擦仿生表面,该仿生表面与裸露表面相比,摩擦系数提升10倍,将此仿生平面与微型机器人腿部结构粘连,进行实际测试,微型机器人在无仿生平面时最大速度可以达到25倍体长每秒,而引入仿生平面之后,其极限速度可以达到50倍体长每秒,甚至更高,提升速度100%,有着极大的性能提升。
本发明授权一种应用于微型爬行机器人的仿生表面及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种应用于微型爬行机器人的仿生表面的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1利用MEMS光刻技术完成加工:用已预先旋涂好光刻胶的硅晶圆通过激光直写进行曝光,在其上形成预先设计好的几何图形,而后利用显影液溶解曝光的区域,形成正胶薄膜结构,将正胶薄膜结构转移至硅片上,利用ICP刻蚀技术形成硅基模板; 2在硅基模板表面利用1H,1H,2H,2H-全氟癸基三甲氧基硅烷进行真空蒸镀,形成氟化层,得到具有氟化层的硅基模板; 3得到具有氟化层的硅基模板后,将聚二甲基硅氧烷单体与固化剂混合,静置,得到预聚液,用所述预聚液浸渍具有氟化层的硅基模板,热处理,取下聚二甲基硅氧烷,剥离硅基模板,得到未经氟化的仿生各向异性高摩擦表面的聚二甲基硅氧烷阴模; 4利用空气等离子体清洗聚二甲基硅氧烷阴模的表面,对二甲基硅氧烷阴模重复硅基模板的氟化步骤,得到聚二甲基硅氧烷阴模,固化,得到略微黏附于阴模上的仿生表面,剥离仿生表面与阴模,对仿生表面进行空气等离子体清洗,得到应用于微型爬行机器人的仿生表面; 步骤3中,聚二甲基硅氧烷单体与固化剂的质量比为10∶1; 静置时间为15min,静置时的气压为100KPa; 预聚液浸渍具有氟化层的硅基模板时,处理时间为15min,气压为100KPa; 热处理时间为60℃,时间为8h; 步骤4中固化温度为60℃,固化时间为8h; 所述应用于微型爬行机器人的仿生表面为在密铺正六边形凹槽上延轴向拉伸,形成长边为100μm,短边为60μm,顶角60°,沟槽宽20μm,深50μm的结构。
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